常規供氣系統:
??1、特種氣體采用50L的鋼瓶供氣,并放置于特定的氣瓶柜中。
??2、配置全自動(dòng)的PLC控制器,彩色觸摸屏。
??3、面板采用壓力傳感器和氣動(dòng)閥門(mén),自動(dòng)切換,自動(dòng)氮氣吹掃,自動(dòng)真空輔助放空。
??4、VMB采用支路氣動(dòng)閥,氮氣吹掃,真空輔助去排空。
??5、惰性氣體多采用半自動(dòng)氣瓶架,繼電器控制,自動(dòng)切換,手動(dòng)吹掃,手動(dòng)放空。
??6、VMB主管氣動(dòng)閥,氮氣吹掃;支路氣動(dòng)閥,氮氣吹掃,真空輔助排空。
??管道系統的設計
??1、材料的選擇:特氣管路系統普遍采用316L不銹鋼電解拋光(EP)管道,閥門(mén)一般采用高純調壓閥、隔膜閥、高精密過(guò)濾器、(<0.003微米)、VCR接頭等。接觸氣體的管路部件表面粗糙度可控制在5uin。對于某些高腐蝕性的氣體如CL2等,采用經(jīng)過(guò)特殊處理的耐腐蝕強的EP管。
??2、主管路系統設計:確認好氣體房和用氣點(diǎn)后,主管路系統的管道線(xiàn)路設置應線(xiàn)路短、拐彎少,布置美觀(guān)節省空間;為了精確控制流量,在氣源端可配置壓力變送器、溫控器、電子秤。
?特種氣體系統實(shí)驗室施工管理
??施工管理和現場(chǎng)施工的幾個(gè)注意點(diǎn)
??1、氣管道采用小管道輸送,為了降低成本,管道采用直接用彎管器煨彎的方式,彎管器一般采用5-10倍的,但不小于5倍,所以要求施工人員需專(zhuān)業(yè)培訓彎管方面的知識。
??2、每日檢查材料質(zhì)量,需做好檢查記錄,記錄表包括管工彎管的尺寸、質(zhì)量、是否有變形和劃傷現象。
??3、焊工在施工前應注意先焊接試樣,確保焊接作業(yè)是否存在焊接隱患。
??4、電源變更的時(shí)候,需重新作試樣。試樣每次要記錄參數,方便下次對比查看。
??5、在焊接作業(yè)開(kāi)始后不間斷充氣的方式,從施工開(kāi)始到施工結束管道內都要處于沖氣保護的狀態(tài),不進(jìn)行焊接作業(yè)時(shí)應當調小管內氣壓。
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